光谱仪应用很广，在农业、天文、汽车、生物、化学、镀膜、色度计量、环境检测、薄膜工业、食品、印刷、造纸、拉曼光谱、半导体工业、成分检测、颜色混合及匹配、生物医学应用、荧光测量、宝石成分检测、氧浓度传感器、真空室镀膜过程监控、薄膜厚度测量、led测量、发射光谱测量、紫外/可见吸收光谱测量、颜色测量等领域应用广泛。 [3] 透射测定编辑 语音光谱仪的透射率或它的效率可用辅助单色仪装置来测定。
设备的测试重复性和稳定性非常关键，x荧光光谱仪是基于x射线的元素定性和定量分析技术，各生产厂家根据不同的标定曲线来对样品进行定量，如果每次测试偏差很大，再号称多的仪器也没有作用，这方面也是考察xrf仪器的一个重要依据。很多销售人员都会说xrf本身存在不稳定性，这是事实，但如果偏差的太远，那也说明技术不过关，测试---就起不到应有的检测作用。测量稳定性和重复性是衡量设备性能的一个关键指标。
主要使用x射线束激发荧光辐射，次是在1928年由尔和施雷伯提出的。到了现在，edx-280d x射线荧光光谱仪，该方法作为非破坏性分析技术，并作为过程控制的工具，广泛应用于采掘和加工工业。原则上，轻的元素，可分析出铍（z=4），但由于仪器的局限性和轻元素的低x射线产量，往往难以量化，所以针对能量分散式的x射线荧光光谱仪，可以分析从轻元素的钠（z=11）到---，而波长分散式则为从轻元素的硼到---。
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