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xrf用光或其他激发源照射待分析样品，样品中的元素之内层电子被击出后，造成核外电子的跃迁，在被激发的电子返回基态的时候，会出特征光；不同的元素会出各自的特征光，具有不同的能量或波长特性。检测器(detector)接受这些光，仪器软件系统将其转为对应的信号。这一现象广泛用于元素分析和化学分析，---是在研究金属，玻璃，陶瓷和建筑材料，以及在地球化学研究、---学、电子产品进料品管





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