原子核外电子按其能量的高低分层分布而形成不同的能级，因此，一个原子核可以具有多种能级状态。能量的能级状态称为基态能级（e0=0），其余能级称为激发态能级，而能的激发态则称为激发态。正常情况下，原子处于基态，核外电子在各自能量的轨道上运动。如果将一定外界能量如光能提供给该基态原子，当外界光能量e恰好等于该基态原子中基态和某一较高能级之间的能级差e时，该原子将吸收这一特征波长的光，外层电子由基态跃迁到相应的激发态，而产生原子吸收光谱。
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射线管发射具有高能量的粒子束照射样品， 当其能量大于样品原子中某一轨道电子的结合能时， 便可将该轨道的电子逐出， 形成空穴， 即时外层电子跃向空穴，cs995型红外碳硫分析仪， 电子轨道层的能量差将以特征x射线荧光逸出原子， 其能量差与原子序数相对应， 以此能谱的峰位和净强度进行定性和定量分析。依据rohs检测中元素的特点以及大量实际检测经验， 能量色散x射线荧光光谱仪因其激发源采用较大功率的rh靶来产生特征x射线激发样品原子中k层l层谱线， 可降低背景
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